硅集成电路工艺

硅超大规模集成电路工艺技术——理论、实践与模型(英文版) 根据提供的标题“硅超大规模集成电路工艺技术——理论、实践与模型(英文版)”及描述，本文将深入探讨硅基超大规模集成电路（Very Large Scale Integration, VLSI）的相关理论、实践技术和模型构建等方面的知识点。...

评级：5 浏览量：871 收藏量：2 资源大小：33.17MB 上传时间：2015-09-07

硅集成电路工艺基础 关旭东 由专家关旭东著作的《硅集成电路工艺基础》一书，正是在这一背景下应运而生，不仅为读者揭开了硅材料在电子器件中的应用背景，更详细地介绍了硅工艺的核心技术及其在集成电路制造中的应用全过程。本文将以此书为核心...

评级：0 浏览量：1053 收藏量：10 资源大小：22.93MB 上传时间：2018-12-28

硅集成电路工艺的发展 描述了集成电路技术近几十年来发展及分别详细介绍7种工艺技术的发展

评级：0 浏览量：243 收藏量：0 资源大小：731KB 上传时间：2010-05-21

硅集成电路工艺基础：第三章 扩散.ppt 硅集成电路工艺基础：第三章 扩散.ppt

评级：0 浏览量：106 收藏量：0 资源大小：479KB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第四章 离子注入.ppt 硅集成电路工艺基础：第四章 离子注入.ppt

评级：0 浏览量：85 收藏量：0 资源大小：1.16MB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第二章 氧 化.ppt 硅集成电路工艺基础：第二章 氧 化.ppt

评级：5 浏览量：74 收藏量：0 资源大小：688KB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第一章 硅的晶体结构.ppt 硅集成电路工艺基础：第一章 硅的晶体结构.ppt

评级：0 浏览量：128 收藏量：0 资源大小：26.46MB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺 期末考试题 答案（完整整理版） 硅集成电路工艺期末考试题答案（完整整理版） 硅集成电路工艺是指将硅材料加工成集成电路的过程。该过程涉及到多种技术和工艺，包括化学气相沉积、物理气相沉积、溅射镀膜、蒸发镀膜、扩散掺杂、离子注入掺杂等。 ...

评级：5 浏览量：777 收藏量：14 资源大小：105KB 上传时间：2009-12-31

硅集成电路工艺基础复习.doc 硅集成电路工艺基础复习.doc

评级：5 浏览量：70 收藏量：1 资源大小：605KB 上传时间：2021-10-06

硅集成电路工艺——离子注入PPT学习教案.pptx 【硅集成电路工艺——离子注入】是集成电路制造过程中的关键技术之一，它主要用于半导体材料的掺杂，以实现特定的电性能。离子注入具有多种显著优点： 1. **掺杂纯度高，污染小**：离子注入可以精确控制掺杂元素，...

评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：1.11MB 上传时间：2021-10-10

硅集成工艺基础 《硅集成工艺基础》是关于集成电路制造技术的重要学习资料，主要涵盖了集成电路设计和制作的核心概念。集成电路（Integrated Circuit，简称IC）是现代电子技术的基石，它的应用无处不在，从消费电子产品到航空航天，...

评级：4 浏览量：163 收藏量：3 资源大小：43MB 上传时间：2018-06-12

集成电路工艺试题 集成电路工艺是电子工程领域中的核心学科，涉及到微电子学、材料科学、物理学等多个学科的交叉应用。本试题集主要关注半导体工艺与制造技术，旨在帮助学习者深入理解并掌握这一领域的关键概念和技术。 集成电路...

评级：0 浏览量：761 收藏量：6 资源大小：24.62MB 上传时间：2019-01-03

硅集成电路工艺基础：Chap.10 工艺集成.ppt 硅集成电路工艺基础：Chap.10 工艺集成.ppt

评级：0 浏览量：86 收藏量：0 资源大小：1.54MB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第七章 外延.ppt 硅集成电路工艺基础：第七章 外延.ppt

评级：0 浏览量：82 收藏量：0 资源大小：1019KB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第九章 金属化与多层互连.ppt 硅集成电路工艺基础：第九章 金属化与多层互连.ppt

评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：1.88MB 上传时间：2021-09-17

浅谈相关课程的互动教学——以“半导体器件物理”和“硅集成电路工艺基础”为例.pdf 【半导体器件物理与硅集成电路工艺基础】是微电子专业中至关重要的两门课程，它们涵盖了微电子技术的基础理论和实际应用。随着全球信息化进程的加速，微电子产业在国民经济中的地位日益凸显，对相关课程的教学质量...

评级：0 浏览量：71 收藏量：0 资源大小：1.92MB 上传时间：2021-08-29

硅集成电路工艺基础：第八章 光刻与刻蚀工艺.ppt 硅集成电路工艺基础：第八章 光刻与刻蚀工艺.ppt

评级：0 浏览量：160 收藏量：3 资源大小：3.93MB 上传时间：2021-09-17

集成电路工艺习题解答.doc "集成电路工艺习题解答" 本资源摘要信息涵盖了集成电路工艺的多个方面，包括热扩散、离子注入和薄膜淀积等。下面是对每个部分的详细解释和知识点总结。 热扩散： * 热扩散是指在高温下，杂质原子在硅中的扩散过程...

评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：1.6MB 上传时间：2022-11-28

硅集成电路工艺基础：第五章 物理气相沉积.ppt 硅集成电路工艺基础：第五章 物理气相沉积.ppt

评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：4.11MB 上传时间：2021-09-17

硅集成电路工艺基础：第六章 化学气相沉积.ppt 硅集成电路工艺基础：第六章 化学气相沉积.ppt

评级：0 浏览量：82 收藏量：0 资源大小：2.75MB 上传时间：2021-09-17

集成电路制造技术：原理与工艺 系统地介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术。第1单元硅衬底，主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制，硅片（包含体硅片和外延硅片）的制造工艺及相关理论。第2~5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化与...

评级：5 浏览量：1414 收藏量：7 资源大小：116.44MB 上传时间：2022-06-24

半导体硅工艺课件.zip 本课件《硅集成电路工艺基础》提供了全面深入的学习材料，旨在帮助理解半导体硅工艺的基本原理和实际操作步骤。以下是对该课件主要内容的详细阐述： 1. **半导体基础知识**：半导体材料如硅（Si）具有介于导体和...

评级：0 浏览量：135 收藏量：1 资源大小：19.11MB 上传时间：2019-08-15

宽带隙半导体与硅集成电路到底谁比较优秀 50多年前硅（Si）集成电路的发明意义重大，为我们当前所享受的现代计算机和电子产品时代铺平了道路。但是正如俗话所说，天下没有不散的筵席，现在存在疑问的是，硅在半导体行业的霸主地位将何时终结？据摩尔定律预测...

评级：0 浏览量：153 收藏量：0 资源大小：281KB 上传时间：2021-07-07

集成电路制造工艺-应变硅技术.pptx 为了追求更高效能与更低功耗的集成电路，工程师们在制造工艺上不断创新，其中应变硅技术就是提升集成电路性能的一个重要技术突破。 应变硅技术的基本原理是通过引入应力，改变硅材料的能带结构，进而影响沟道载流子...

评级：5 浏览量：163 收藏量：0 资源大小：2.24MB 上传时间：2022-10-29

超大规模集成电路生产工艺流程.docx-综合文档 超大规模集成电路（VLSI）是现代信息技术的核心，它的生产工艺流程极为复杂，涉及多个精密的步骤。VLSI 是一种将海量晶体管集成在单一芯片上的集成电路，这其中包括微处理器等计算机控制核心。集成电路的发展与...

评级：0 浏览量：251 收藏量：0 资源大小：449KB 上传时间：2021-05-24

集成电路制造工艺-半导体硅晶圆的制备.pptx 在这一领域的快速发展中，半导体硅晶圆的制备工艺尤为关键，它是集成电路及高性能太阳能电池板生产的基础。本文将深入探讨集成电路制造中硅晶圆的制备工艺，以及相关技术和质量控制的重要性。 首先，硅晶圆制备的...

评级：5 浏览量：78 收藏量：0 资源大小：4.36MB 上传时间：2022-10-29

集成电路制造工艺-硅晶圆的清洗.pptx 集成电路制造工艺中的硅晶圆清洗是一项至关重要的步骤，因为微尘粒、有机物、无机物和金属离子等杂质会严重影响集成电路的良率、品质和可靠性。硅晶圆的清洗通常在符合国家标准的洁净车间进行，按照GBJ73-84标准，...

评级：0 浏览量：57 收藏量：0 资源大小：3.97MB 上传时间：2022-10-29

集成电路工艺技术.pdf 1、集成电路发展历程回顾 2、描述天然硅原料如何加工提炼成半导体级硅(semiconductor-grade silicon, SGS)。 3、解释晶体结构与单晶硅的生长技术。 4、讨论硅晶体的主要缺陷。 5、简单敘述由硅晶锭加工成为硅晶...

评级：0 浏览量：990 收藏量：1 资源大小：3.13MB 上传时间：2019-09-15

集成电路制造工艺-集成电路制造工艺概述.pptx 集成电路制造工艺是现代电子工业的核心技术之一，涉及多个复杂步骤，包括材料制备、光刻、刻蚀、掺杂和电极形成等。本篇主要介绍双极型晶体管、MOS场效应晶体管以及CMOS集成电路的制造工艺。 首先，双极型晶体管...

评级：0 浏览量：128 收藏量：0 资源大小：2.26MB 上传时间：2022-10-29

CMOS集成电路工艺体硅CMOS工艺设计中阱工艺的选择 CMOS集成电路工艺体硅CMOS工艺设计中阱工艺的选择是一个至关重要的步骤，因为这直接影响到器件性能和电路的效率。CMOS（互补金属氧化物半导体）技术起源于1963年的PMOS工艺，它的核心在于同时制造NMOS（n型金属...

评级：0 浏览量：1089 收藏量：2 资源大小：86KB 上传时间：2020-12-09

集成电路历史回眸 集成电路的发展历程可以追溯到20世纪中叶，其诞生源于一系列科研突破和技术革新。1946年，美国贝尔实验室的W. Schokley、J. Bardeen和W. H. Brattain组成了半导体研究小组，这标志着集成电路历史的起点。Bardeen提出...

评级：0 浏览量：452 收藏量：0 资源大小：78KB 上传时间：2020-12-09

集成电路工艺.ppt 集成电路工艺是电子工程中的核心领域，它涉及到微小电子组件的制造，这些组件构成了现代电子设备的基石。本文主要探讨了集成电路的特定工艺，包括双极型集成电路、金属半导体场效应晶体管(MESFET)工艺、高电子迁移率...

评级：0 浏览量：90 收藏量：0 资源大小：1.37MB 上传时间：2021-09-08

集成电路制造工艺-扩散掺杂.pptx 集成电路制造工艺是现代电子技术的核心，其中扩散掺杂是至关重要的一步。这一过程涉及到半导体性质的改变，使得集成电路能够实现所需的电气特性。本篇主要讨论的是扩散掺杂，特别是热扩散掺杂工艺。 首先，扩散掺杂...

评级：0 浏览量：68 收藏量：0 资源大小：2.15MB 上传时间：2022-10-29

集成电路制造工艺-后段工艺整合.pptx 在集成电路制造过程中，后段工艺整合是至关重要的步骤，它涉及到将独立的晶体管（如PMOS和NMOS）连接成具有复杂逻辑功能的电路系统。这个过程涉及到多个关键环节，包括材料选择、隔离、连接以及层间介质的形成。 ...

评级：0 浏览量：110 收藏量：1 资源大小：2.12MB 上传时间：2022-10-29

硅集成电路制造工艺第0章绪论.pptx 【硅集成电路制造工艺】是电子科技领域中的核心组成部分，它涉及到半导体材料的处理和微观电子器件的制造。这一工艺的发展历程可以追溯到19世纪，随着科学家对半导体材料的深入研究，以及电报机、电话、无线电等早期...

评级：0 浏览量：46 收藏量：0 资源大小：9.81MB 上传时间：2021-10-12

第四章-集成电路制造工艺-综合文档 集成电路制造工艺是现代电子技术的核心，它涉及到微电子学、材料科学、物理化学等多个领域。在第四章中，我们将深入探讨这一复杂而精密的过程，理解其背后的原理与步骤。 集成电路，也称为IC（Integrated Circuit）...

评级：0 浏览量：68 收藏量：0 资源大小：9.01MB 上传时间：2021-05-22

集成电路制造工艺-侧墙技术.pptx 集成电路制造工艺中的侧墙技术是实现微电子器件精细化和高性能化的重要步骤。侧墙技术主要应用于轻掺杂漏极（LDD）结构的保护，防止在源漏区重掺杂过程中，高浓度的离子注入对LDD区域造成不必要的影响，从而确保器件...

评级：0 浏览量：93 收藏量：0 资源大小：2.08MB 上传时间：2022-10-29

Infineon用锗化硅和碳双极工艺开发高频集成电路 计算机世界网消息 德国Infineno公司7月4日(美国当地时间7月3日)宣布，在慕尼黑实验室其研究人员利用锗化硅和碳(SiGe：C)的双极工艺，开发出了工作频率超过110GHz的高速动态分频集成电路。其比竞争对手的相应器件，...

评级：0 浏览量：94 收藏量：0 资源大小：48KB 上传时间：2021-01-20

集成电路制造工艺-外延的基本概念.pptx 集成电路制造工艺中的外延技术是构建微电子器件和先进集成电路不可或缺的关键步骤。外延，简单来说，就是在单晶硅衬底上生长一层新的单晶层，这个新层的晶体方向与衬底保持一致，沿原有的结晶轴方向延伸。外延层的...

评级：5 浏览量：66 收藏量：0 资源大小：2.08MB 上传时间：2022-10-29

集成电路制造工艺-先进CMOS制造流程.pptx 集成电路制造工艺是现代电子技术的核心，特别是在先进CMOS制造流程中，这些技术的进步推动了信息技术的飞速发展。CMOS（互补金属氧化物半导体）因其能高效地集成大量逻辑电路而成为主流的集成电路制造技术。以下将...

评级：5 浏览量：135 收藏量：0 资源大小：2.18MB 上传时间：2022-10-29

IC集成电路制造流程说明介绍 集成电路（Integrated Circuit，简称IC），是一种通过特定加工工艺将晶体管、二极管等有源器件以及电阻、电容等无源器件集成在同一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上的电子元器件。这些元件之间通过特定的电路互连...

评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：2.11MB 上传时间：2024-03-26

集成电路核心关键字解释 集成电路，也称为Integrated Circuit（IC），是现代电子技术的核心，其基本原理是在一块半导体材料，如硅或砷化镓上，通过复杂的微细加工技术，将晶体管、二极管、电阻、电容等电子元件集成在一起，形成具有特定电路...

评级：0 浏览量：337 收藏量：0 资源大小：32KB 上传时间：2020-12-09

集成电路工艺课件.pptx 集成电路工艺是电子科学与技术领域中的核心技术，涉及半导体器件制造的全过程。这门课程主要涵盖了集成电路从设计到封装测试的各个关键步骤，旨在让学生深入理解微电子器件的制造原理。 首先，课程会从集成电路的...

评级：5 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：9.29MB 上传时间：2021-10-09

2024年全国职业院校技能大赛集成电路应用开发赛项竞赛试题（03卷） #### 二、集成电路工艺仿真 **1. 单选题解析** - **问题1**：热探针法可以测量单晶硅的导电类型（D）。 - **问题2**：S-2清洗液可以去除自然氧化物（D）。 - **问题3**：植球时形成的焊点称为第二焊点（B）。 - **...

评级：0 浏览量：234 收藏量：0 资源大小：669KB 上传时间：2024-06-05

集成电路制造工艺-高k栅介质技术.pptx 集成电路制造工艺中的高k栅介质技术是现代微电子领域中解决纳米尺度下器件性能问题的关键技术之一。随着摩尔定律的推进，集成电路的特征尺寸不断缩小，传统的二氧化硅（SiO2）栅介质已不能满足需求。当SiO2厚度低于3...

评级：5 浏览量：303 收藏量：0 资源大小：4.82MB 上传时间：2022-10-29

集成电路制造工艺-化学外延淀积薄膜.pptx 这一工艺对于保证集成电路的性能和可靠性至关重要。 CVD的外延生长过程可以分为五个阶段。首先，反应剂在携带气体的帮助下进入CVD反应室。接着，反应剂在衬底附近形成“滞留层”并扩散到硅表面。随后，反应剂吸附在...

评级：0 浏览量：42 收藏量：0 资源大小：2.18MB 上传时间：2022-10-29

集成电路制造工艺-物理外延淀积薄膜.pptx 集成电路制造，作为信息技术领域的基石，其工艺流程的复杂性和精细程度是决定最终产品性能的关键。其中，薄膜的物理外延淀积技术是集成电路生产过程中的一个重要环节。薄膜质量的优劣直接关系到芯片的功能实现和使用...

评级：0 浏览量：39 收藏量：0 资源大小：2.64MB 上传时间：2022-10-29

第一章 集成电路工艺基础及版图设计-综合文档 集成电路工艺基础涵盖了从硅片的制备到最终电路形成的所有步骤。首先，我们从硅晶圆的生产开始，它是集成电路的基础材料。高纯度的多晶硅经过切割、抛光，形成光滑的硅晶圆。然后，通过氧化、扩散、离子注入等工艺在...

评级：0 浏览量：229 收藏量：0 资源大小：7.96MB 上传时间：2021-05-22