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集成电路制造工艺-外延的基本概念.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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外
外
延
延
的
的
基
基
本
本
概
概
念
念
外延技
术
的概念
在
单
晶硅
衬
底上生
长
一
层
新
单
晶的
过
程,新
单
晶的晶向取决于
衬
底,它是沿原来的
结
晶
轴
方向由
衬
底向外延伸而成。
外延
层
所制
备
的外延
层
具有
结
构和厚度可控、
材
质
可
选
的特点,是目前制
备
先
进
集成
电
路的重要工
艺
。
第一模块
外延技术的类型
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2301_76596291
2024-01-03
感谢大佬分享的资源,对我启发很大,给了我新的灵感。
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