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集成电路制造工艺-LDD技术.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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linux下驱动编写实例。
LDD
LDD
技
技
术
术
LDD技术
集成电路器件尺寸在按等比例缩小时,它的工作电压并没有等比例降低,这使得沟道横向
电场强度会随着器件尺寸的缩小而增加,特别是漏极附近的电场。当器件的特征尺寸缩小
到亚微米和深亚微米时,漏极附近出现热载流子效应,热载流子效应会导致一些严重的问
题,最终使器件不能工作。为改善热载流子效应,在器件结构上采用了轻掺杂漏(
LDD
)
工艺技术。
第一模块
热载流子效应
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