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集成电路制造工艺-硬掩膜版技术.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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candb++安装文件
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软件安装之后,若打不开时将Cdbstat.dll文件复制到一下路径中。 C:\Windows\SysWOW64
硬
硬
掩
掩
膜
膜
版
版
技
技
术
术
硬掩膜版技
术
硬掩膜版技
术
是先利用薄的光刻胶把
图
形
转
移到中
间层
,再通
过
中
间
层
把
图
形
转
移到底
层
薄膜材料的技
术
,
这
些中
间层
称
为
硬掩膜版。
第一模块
硬掩膜版工艺技术简介
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