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集成电路制造工艺-侧墙技术.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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云快充平台与设备通信协议1.6
侧
侧
墙
墙
技
技
术
术
侧墙技术
在
LDD
离子注入后,必
须
制造出掩蔽
层
,以防
止重
掺杂
的源漏离子注入影响
轻掺杂
的
LDD
结
构,半
导
体研
发
人
员
根据
这
个要求,开
发
出
侧
墙
工
艺
技
术
,通
过
把
LDD
放置在
侧墙
的正下方
,有效掩蔽了
轻掺杂
的
LDD
结
构。
侧墙
PW
Si-sub
Si-sub
n
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第一模块
侧墙对LDD的保护作用
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