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集成电路制造工艺-先进CMOS制造流程.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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集成电路制造工艺
先
先
进
进
CMOS
CMOS
制
制
造
造
流
流
程
程
先进CMOS制造流程
CMOS
集成
电
路制程是使用最广泛的集成制造技
术
,
为
在芯片上制造出
CMOS
器件,
需要
严
格遵循
CMOS
前段制造工
艺
流程,才能制造出如下
图
所示、符合工作要求的
CMOS
器件。
PW
Si-sub
NW
P
+
P
+
N
+
N
+
第一模块
微米级、纳米级CMOS制造流程概述
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