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集成电路制造工艺-半导体硅晶圆的制备.pptx
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集成电路
电路制造
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集成电路制造工艺
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半
半
导
导
体
体
硅
硅
晶
晶
圆
圆
的
的
制
制
备
备
单晶硅
单晶硅是具备完整点阵结构的硅的单晶体,可用于制造半导体芯片和高性能太阳能电池板
。
半
导
体集成
电
路
产业
光伏
产业
目前,我国在直拉法单晶硅制造领域的专利数,世界排名顶尖,为我国的单晶硅
产业发展提供了安全保障。
在集成芯片制作过程中,要求由硅制作出的晶圆中的杂质含量
必须非常低,必须掺杂到指定的电阻率水平,必须是指定的晶体结构,必
须是光学的表面,并达到规定的机械及清洁度要求。
砂
砾
硅晶
圆
高
纯
度
指定
电
阻率
指定
结
构
符合要求的机械及清
洁
度
光滑表面
第一模块
矿石转变为高纯度气体
1
2
3
4
矿石转变为高纯度气体是通过化学反应,把含硅的砂砾转化为硅化物气体,如四
氯化硅或三氯硅烷。
矿石转变为高纯度气体
砂
砾
四
氯
化硅或三
氯
硅
烷
气体
矿
渣
化学反
应
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Meyur
2023-11-27
发现一个宝藏资源,赶紧冲冲冲!支持大佬~
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软件安装之后,若打不开时将Cdbstat.dll文件复制到一下路径中。 C:\Windows\SysWOW64
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