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IC制造虚拟课件:扩散工艺原理.pptx
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IC制造
虚拟实训
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扩散工艺原理
学习目标
•
了解扩散现象
•
熟悉扩散工艺原理
•
熟悉主要扩散工艺方法
扩散
•
扩散是热运动所引起的粒子的输运过
程。
•
物体内部存在浓度或温度梯度时,则会
在物体中产生使浓度或温度趋于均匀的
定向扩散运动。即
热扩散
。
•
固体、液体、气体中都能发生扩散
扩散工艺
扩散是半导体制造最基本的工艺之一
在约1000℃的高温、p型或n型杂质气氛中
杂质向衬底硅片的确定区域内扩散,达到一
定浓度,实现半导体定域、定量掺杂
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