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IC制造虚拟课件:硅各向异性刻蚀原理与虚拟实验.pptx
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IC制造
虚拟实训
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单晶硅各向异性刻蚀
与虚拟仿真实验
学习目标
•
熟悉单晶硅各向异性刻蚀原理
•
熟悉单晶硅各向异性刻蚀液成分
•
熟悉虚拟仿真实验操作
单晶硅
单晶硅由金刚石结构的立方晶胞有序重复组
成,
硅常用晶面上原子分布
Si面密度:(100)
2/a2
(110) 2.83/a2
(111) 2.3/a2
晶面原子密度关系
为
(111)>(110
)>(100)
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