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IC制造虚拟课件:干法刻蚀简介.pptx
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IC制造
虚拟实训
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干法刻蚀简介
学习目标
熟悉干法刻蚀原理
熟悉干法刻蚀工艺特点
刻蚀技术
根据工艺方法及反应现象的不同,分为
湿法刻蚀
干法刻蚀
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