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IC制造虚拟课件:氧化硅的作用.pptx
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IC制造
虚拟实训
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氧化硅的作用
学习目标
•
熟悉氧化硅的基本性质
•
熟悉氧化硅在集成电路中的作用、功能
•
熟悉不同功能氧化硅的性能要求
二氧化硅的基本性质
•
密度
约
2.2g/cm
3
;
•
熔点
非晶态的氧化硅无熔点,软化点
1500℃
•
电阻率
一般在
10
7
~10
15
Ω·cm
;
•
介电性
介电常数
3.9
;
•
腐蚀性
只和
HF
酸反应。
二氧化硅的作用
•
•
密
密
度
度
大
大
,
,
致
致
密
密
性
性
好
好
•
•
隔
隔
离
离
并
并
保
保
护
护
器
器
件
件
:
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器
器
件
件
电
电
隔
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离
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、
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