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IC制造虚拟课件:扩散工艺虚拟仿真实验简介.pptx
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IC制造
虚拟实训
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IC制造虚拟实训
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扩散工艺虚拟仿真实验简介
学习目标
熟悉实验环境
熟悉实验器材及操作
实验环境
模拟石英舟、程控扩散炉、洗气瓶
等设备器材
模拟高温扩散工艺
模拟使用三氯氧磷的N型扩散工艺
模拟使用氧化硼的P型扩散工艺
模拟与氧化兼容的主扩散工艺
实验器材与操作
石英舟
01
硅片花篮
02
硅片
03
程控扩散炉
04
洗气瓶
05
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