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IC制造虚拟课件：使用氧化硼乳胶源的扩散实验.pptx
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IC制造
虚拟实训
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使用氧化硼乳胶源的
硼预扩散实验
学习目标
•
熟悉虚拟仿真实验环境
•
熟悉扩散程序设置
氧化硼乳胶源扩散
•
乳胶源涂覆在晶圆表面
•
氧化硼不需要活化预处理
启动设备电源及加热
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