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IC制造虚拟课件:SC的配置与清洗原理.pptx
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IC制造
虚拟实训
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IC制造虚拟实训
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IC制造虚拟实训
SC1
的配置与清洗原理
学习目标
01
02
03
熟悉
SC1
成分及配比
熟悉
SC1
的作用
熟悉
SC1
清洗原理
SC1
的配方
•
NH
4
OH: H
2
O
2
:H
2
O =1:1:5~1:2:7
•
NH
4
OH: H
2
O
2
:H
2
O =1:1:6
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