3.1.2 外延工艺种类
按材料划分:同质外延和异质外延
按工艺方法划分:气相外延( VPE) ,液相外延 (LVP) ,
固相外延 (SPE) ,分子束外延( MBE)
按温度划分:高温外延 (1000℃ 以上 ) ;低温外延 (1
000℃ 以下 ) ;变温外延 -- 先低温下成核,再高温下
生长外延层
按电阻率高低划分:正外延 -- 低阻衬底上外延高阻层;
反外延 -- 高阻衬底上外延低阻层
按外延层结构分类 : 普通外延,选择外延,多层外延
其它划分方法:按结构划分;按外延层厚度划分等
气相外延工艺成熟,可很好
的控制薄膜厚度,杂质浓度
和晶格的完整性,在硅工艺
中一直占主导地位