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第三章-集成电路的制造工艺.ppt

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第三章-集成电路的制造工艺.ppt

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第三章集成电路的制造工艺

（ 1 ）集成电路设计人员虽然不需要直接参

与集成电路的工艺流程和掌握工艺的细

节，但了解集成电路制造工艺的基本原理

和过程，对于集成电路设计大有裨益。

（ 2 ）这些工艺可应用于各类半导体器件和

集成电路的制造过程。

为何要介绍 IC 制造工艺？

代客户加工（代工）方式



芯片设计单位和工艺制造单位的分离。即芯片设

计单位可以不拥有生产线而存在和发展，而芯片

制造单位致力于工艺实现，即代客户加工（简称

代工）方式。

代工方式已成为集成电路技术发展的一个重要特征

无生产线设计与代工方式的关系图

PDK 文件

首先，代工单位将经过前期开发确定的一套工

艺设计文件 PDK （ Pocess Design Kits) 通过因特

网传送给设计单位。



PDK 文件包括：工艺电路模拟用的器件的 SPIC

E 参数，版图设计用的层次定义，设计规则，晶

体管、电阻、电容等元件和通孔（ VIA ）、焊盘

等基本结构的版图，与设计工具关联的设计规则

检查（ DRC ）、参数提取（ EXT ）和版图电路

对照（ LVS ）用的文件。

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lijian00563

2023-01-09

这个资源值得下载，资源内容详细全面，与描述一致，受益匪浅。

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