RF-MEMS器件及其关键工艺技术 (2005年)

综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件，统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理，并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作时应注意的问题。