自制桥式差分电容测量电路 (2009年)

差分电容传感器电路采用交流电电容桥法对差分电容进行测量。此方法所采用的载波信号为 100 kHz的高频交流信号。相位敏感解调器将输出的高频交流信号转化为直流信号输出之后,利用 RS-232电缆将电压表与电脑连接起来,对输出电压进行记录。实验中,需要先使用固定电容对此电容传感器进行标定,然后将其应用到微小可变电容的测量中。此实验设计出的电容传感器,其分辨率可高达0 .01 fF,等效于差分电容桥的 nm级位移。