YANG ZQ-集成电路制造技术-MEMS概述-1.ppt

这里简要介绍了MEMS技术的概念,研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望，MEMS制造工艺（Microfabrication Process）是下至纳米尺度，上至毫米尺度微结构加工工艺的通称。广义上的MEMS制造工艺，方式十分丰富，几乎涉及了各种现代加工技术。