RF_MEMS开关的工艺制备

微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基础上的延伸与拓展，是微电子应用的新突破。RF MEMS开关是MEMS技术的一个分支， 也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点.