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MEMS器件工艺设计
MEMS器件工艺设计
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该资料为MEMS器件设计工艺的基础,详细介绍了常见MEMS器件工艺流程,具有代表性
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一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术
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传感技术中的ST发布新款高性能MEMS加速度计“LIS2HH12”
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导读：据报道，意法半导体（以下简称“ST”）近日新推出一款高性能MEMS加速度计“LIS2HH12”.“LIS2HH12”是针对最新智能手机等移动设备中愈发具有挑战性的应用环境而设计，在助力应对恶劣散热条件下而推出的一款新产品。 近日，意法半导体（以下简称“ST”）新推出一款高性能MEMS加速度计“LIS2HH12”.“LIS2HH12”是针对最新智能手机等移动设备中愈发具有挑战性的应用环境
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一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术.pdf
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