表面微加工MEMS器件工艺层模型可制造性评价 (2006年)

针对基于实体馍型生成的微电机系统（MEM，S）器件工艺；模型难以完全保证可制造性的问题，结合标准的表面做加工工艺，从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分折了产生可制造问题的原因。并给出了可制造性评价方法。基于可制造性评价结果，进一步提出了一种生成改进建议的方法。实例分析表明。所提出的工艺旺模型可制造性评价方法提了MRMS器件的可制造性评价质量与效率，并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题。