MEMS器件微装配系统的设计与研制 (2005年)

在分析微装配特点的基础上，讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案，描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究，结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究。