3D MEMS全光交换系统

所需积分/C币:0 2013-04-12 22:53:44 130KB PDF

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems, 微机电系统)是指将微型机械、微型执行器、信 号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型 器件或系统。而MOEMS 是Micro-Opto-Electro- Mechanical System的缩写,意为微光机电系统, 把微光学应用到微机电系统中,这是MEMS在光通 信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一 个以上微机械元件的光系统或光电子系统,其应用 将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学 及光学传感等多个方面。

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