磁控溅射法制备Ce02-TiO2紫外吸收薄膜 (2006年)

采用射频磁控溅射在玻璃基片上沉识具有紫外吸收CeO2-TiO2混和薄膜。通过制备一系列不同物质的量浓度比的n（CeO2）：n（TiO2）靶材（1.0：0,0.90：0.10,0.80：0.20,0.70：0.30,0.60：0.40,0.50：0.50,0.40：0.60,0.30：0.70,0.20：0.80,0.10：0.90,0：1.0），研究其紫外吸收性能最佳的物质的量浓度比.TiO2加入CeO2后，改变CeO2的结晶状态并提高uV吸收采用Raman和XPS表征薄膜的特性，物质的量浓度比值在n（C