纳米晶钛膜中He的引入及含量分析

纳米晶钛膜中He的引入及含量分析，段艳敏，刘慢天， 采用He/Ar复合气氛下，磁控溅射共沉积的方法在纳米晶钛金属中引入了高浓度的He并利用增强质子背散射分析了He的含量及深度分布。结�