氮离子多级注入钛膜的性能初步研究

氮离子多级注入钛膜的性能初步研究，牛继南，强颖怀， 铝表面制备太阳选择性涂层通常采用阳极氧化着色法和溅射镀膜法，本文中我们尝试采用离子注入与离子镀膜相结合的方法初步研究�