衬底温度对热丝法生长纳米金刚石膜的影响 (2015年)

采用热丝化学气相沉积法在氩/丙酮/氢气体系中研究衬底温度对纳米金刚石膜生长的影响，使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪对金刚石膜进行检测。结果表明衬底温度对金刚石膜的生长模式、形貌、粒径和生长速率有很大影响。在750℃衬底温度下生长模式为颗粒状生长模式，呈现纳米金刚石结构，生长速率达到8.45 μ m/h；随着衬底温度的降低，金刚石晶粒粒度逐渐变大，由纳米金刚石向微米金刚石转变，生长模式变为柱状生长模式，生长速率逐渐降低；在600℃衬底温度下变为微米金刚石，生长速率下降到1.95 μm/h。