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通过采用低温和高温交替技术的多层结构在蓝宝石上外延生长AlN膜
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2021-03-13
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通过采用低温和高温交替技术的多层结构在蓝宝石上外延生长AlN膜
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双缓冲层结构对蓝宝石上AlN外延生长的影响
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氢化物气相外延生长的(0 0 0 1)AlN /蓝宝石中缓冲层的微观结构及其对螺纹位错的影响
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