论文研究-等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜 .pdf

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等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜,黄孟祥,陈俊芳,利用ICP离子源辅助电子枪低温蒸发沉积AlN薄膜,对薄膜进行XRD谱分析,用AFM原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌,经过高温退火后的薄膜

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