没有合适的资源？快使用搜索试试~
我知道了~
文库首页
课程资源
专业指导
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究
需积分: 0
2 下载量
79 浏览量
2009-10-27
21:19:00
上传
评论
收藏
248KB
PDF
举报
温馨提示
立即下载
开通VIP（低至0.43/天）
买1年送1年
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究,希望对大家有用
资源推荐
资源评论
氮化铝薄膜的制备及介电性能研究
浏览：13
氮化铝薄膜的制备及介电性能研究，希望对大家有用
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究1
浏览：64
射频反应溅射制备AlN薄膜的研究,希望对大家有用
射频功率对射频磁控反应溅射制备AIN薄膜的影响 (2007年)
浏览：27
采用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上制备了AIN薄膜，通过控制工艺参数可以沉积出不同择优取向的AIN薄膜，各工艺参数中射频功率对其择优取向的影响最大。XRD表征了AIN薄膜的结构，进而选择出最优射频功率。
脉冲React磁控溅射沉积AlN薄膜的条件研究
浏览：75
脉冲React磁控溅射沉积AlN薄膜的条件研究
半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备.pdf
浏览：173
半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备.pdf
掺Ni的AlN薄膜稀磁半导体的制备及磁性研究.pdf
浏览：37
采用射频磁控溅射技术，研究人员在Si（100）衬底上制备了不同Ni掺杂浓度（0.021、0.047、0.064、0.082）的Al1-xNi xN薄膜。这一方法允许精确控制薄膜的成分，并确保与半导体工艺的兼容性，这对于薄膜材料的工业化...
射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的结构和光学性质
浏览：148
射频磁控溅射是一种利用射频电场作用于含有待溅射材料的气体...研究中所提到的利用射频磁控溅射技术制备氮化锌薄膜的方法，为科研人员提供了制备高质量氮化锌薄膜的新途径，这对于推动相关领域的发展具有重要的意义。
室温下紫外光辅助React性RF磁控管溅射AlN薄膜的沉积
浏览：135
在室温下利用紫外光辅助反应性射频磁控溅射法沉积AlN薄膜的研究是一项关于先进薄膜沉积技术的重要工作，它涉及物理学、材料科学和电子工程等多个领域。这项研究工作旨在开发一种新型的室温沉积工艺，该工艺能够沉积...
沉积气压对溅射氮化铝薄膜结构和光学性能的影响
浏览：35
采用射频反应磁控溅射系统，在K9双面抛光玻璃基底上制备氮化铝薄膜，通过实验测试并结合数值拟合计算研究了其他参数保持不变的条件下，沉积气压对其结构和光学性能的影响。薄膜的微观结构通过X射线衍射和原子力显微...
C轴择优取向AlN薄膜的制备研究
浏览：132
C轴择优取向AlN薄膜的制备研究,希望对大家有用
MPCVD法AlN基体上金刚石薄膜的制备 (2011年)
浏览：26
以丙酮和氢气作气源,采用微波等离子体化学气相沉积法( MPCVD)在 AlN表面制备金刚石薄膜,并 通过拉曼光谱( Raman),扫描电子显微镜( SEM)对沉积得到的金刚石薄膜进行表征。研究表明:直接在AlN表 面沉积因金刚石的形核密度很低而很难得到连续的金刚石薄膜。利用金刚石微粉研磨 AlN表面有利于金刚 石形核密度的提高,Raman分析和电镜观察发现:所得的金刚石薄膜存在杂质和缺陷,没有明显
射频磁控反应溅射氮氧化硅薄膜的研究
浏览：106
利用SiOxNy薄膜光学常数随化学计量比连续变化的特性,给出了制备折射率连续可调的SiOxNy薄膜的实验条件。用磁控反应溅射法制备了不同氮氧比的SiOxNy薄膜。研究了不同气流比率条件下薄膜光学常数、化学成分及溅射速率等的变化。用UV-VIS光谱仪测试了透射率曲线,利用改进的单纯型法拟合透射率曲线计算得到了折射率和消光系数。测试了红外傅立叶光谱（FTIR）曲线和X光光电子能谱（XPS）分析了薄膜成
脉冲准分子激光沉积AlN薄膜的研究
浏览：13
采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AlN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明：薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200 nm;薄膜介电性能优异,扩展电阻在108Ω以上。
溅射气压对DC磁控溅射制备AlN薄膜的影响 (2011年)
浏览：119
采用 DC反应磁控溅射法,在 Si(111)和玻璃基底上成功的制备了 AlN薄膜。研究溅射过程中溅射气压对薄膜性能的影响。结果表明:薄膜中原子比 N /Al接近于1;当溅射气压低于0.6 Pa时,薄膜为非晶态;当溅射气不低于0.6 Pa时,薄膜的XRD图中均出现了6方相的AlN(100)、(110)和弱的(002)衍射峰,说明所制备的AlN薄膜为多晶态;气压为0.6 Pa时对应衍射峰的半高峰宽较小
用于FBAR的C轴取向AlN压电薄膜的研制 (2012年)
浏览：18
用射频(RF)反应磁控溅射法,在硅基片上制备出了具有较低表面粗糙度、C轴择优取向的AlN压电薄膜。讨论了溅射功率对AlN压电薄膜结构和形貌的影响、氮气含量对AlN压电薄膜成分的影响以及低温退火对薄膜表面粗糙度的影响...
射频磁控溅射两步法制备高质量AIN膜
浏览：149
射频磁控溅射两步法制备高质量AIN膜的研究主要集中在纳米级铝氮化合物(AlN)薄膜的均匀晶格排列的制备上，这对高频表面声波(SAW)器件的制造具有重要意义。随着SAW器件工作频率提高至5GHz以上，对SAW器件的材料和制备...
掺Er的AlN膜作为发光传感层用于多层Al / AlN涂层健康监测的潜力
浏览：199
AlN：Er膜是通过射频磁控溅射从掺有不同浓度（0.5％至2.5at％的Er）的Al靶材制备的。 研究了沉积的AlN：Er薄膜的化学组成，表面形貌，晶体结构，化学态和光学性质。 我们发现AlN：Er薄膜的晶体结构，表面粗糙度和...
常温低氮氨比下(002)择优取向氮化铝薄膜的制备 (2011年)
浏览：114
本研究介绍了一种在常温条件下利用反应射频磁控溅射方法制备(002)单一择优取向柱状结构的氮化铝（AlN）薄膜的技术。该技术对于开发高性能电子器件具有重要意义。 #### 技术背景与意义 氮化铝是一种拥有六方纤锌矿...
FBAR滤波器的仿真与制备研究_李洁1
浏览：144
在制备过程中，可能涉及到微电子制造技术，如分子束外延、溅射或化学气相沉积等，用于生长和加工薄膜层。此外，还需要精密的光刻和蚀刻技术来形成复杂的微结构，以实现所需的声波传播路径。李洁的研究可能还包括了对...
python大作业 含爬虫、数据可视化、地图、报告、及源码（整和为一个文件）（2014-2020全国各地区原油加工量）.rar
浏览：120
5星 · 资源好评率100%
（含源码及报告）本程序分析了自2014年到2020年每年我国原油加工的产量，并且分析了2019年全国各地区原油加工量，含饼状图，柱状图，折线图，数据在地图上显示。运行本程序需要requests、bs4、csv、pandas、matplotlib、pyecharts库的支持，如果缺少某库请自行安装后再运行。文件含2个excel表，4个csv文件以及一个名字为render的html文件（需要用浏览器打
仿真电路以及操作方法
浏览：53
5星 · 资源好评率100%
用一片通用四运放芯片LM324组成电路，实现以下功能：用低频信号源产生ui1=0.1sin2πft（V），f=500Hz的正弦波信号，加至加法器的输入端，加法器的另输入端加入有自制振荡器产生的信号uo1。要求加法器的输出电压ui2=10 ui1+ uo1。ui2经选频滤波器滤除uo1频率分量，选出f信号为uo2，uo2为峰峰值等于9V的正弦信号。uo2信号经比较器后在1KΩ负载上得到峰峰值2V的输
【纯干货啊】华为IPD流程管理(完整版).pptx
浏览：121
4星 · 用户满意度95%
华为IPD产品研发流程完整版。非常的详细，很适合给新是的实习生做培训用！是我一直在用的流程管理，很适合学习与交流。
信号与系统——保研复习资料.pdf
浏览：33
本文档为本人保研复习过程中撰写的信号与系统复习文档，参考书籍为吴大正老师主编的信号与线性系统分析（第四版），全文共43页，包含以下内容： 一、信号与系统（绪论） 二、连续系统的时域分析 三、离散系统的时域分析 四、傅里叶变换和系统的频域分析 五、连续系统的s域分析 六、离散系统的z域分析 七、系统函数 八、少量经典面试题（保研）
可编程语言标准IEC61131-3中文版.pdf
浏览：77
5星 · 资源好评率100%
可编程语言标准IEC61131-3中文版
OFDM完整仿真过程与教程.zip
浏览：130
5星 · 资源好评率100%
辛苦写了关于OFDM的详细仿真，从产生信息流到最终解调，包含星座图，误码率图。包括了相关技术的详细解释，（信道编码，扩频，导频，信道估计等）。注：本段程序不包括射频传输部分，即载波调制，基带调制为QPSK。具体的教程可以参考我的相关文章。
Landsat_WRS2.zip
浏览：33
5星 · 资源好评率100%
本资源为WRS2全球条带号分幅情况SHP文件。WRS，即Worldwide Reference System，是Landsat系列卫星全球影像标记符号系统，用以区分全球各区域对应的Landsat系列卫星影像编号；其用“Path”与“Row”两个数值确定影像的编号与位置。其中，Landsat 1、2、3卫星对应编号系统为WRS-1，Landsat 4、5、7、8卫星对应编号系统为WRS-2。WRS-
最全的Visio形状/图形库
浏览：98
从不同地方搜集整理出来的Viso图标，全部文件都是Visio图形库的标准格式：VSS格式，内含有51个文件，分别对应类别。内容比较全面，包括常用图表、服务器图、各种符号图表、工作流程形状、绘制图表形状、网络和外设图、网络位置及物理逻辑图、最常使用的图表、办公室设备图及办公室附属设施图等等。
数字信号处理——保研复习资料.pdf
浏览：13
本文档为数字信号处理（DSP）复习文档，参考书籍为高西全老师主编的《数字信号处理——原理、实现及应用》第二版，全文共33页，包含以下内容： 一、绪论 二、时域离散信号与系统 三、时域离散信号和系统的频域分析 四、离散傅里叶变换（ DFT）及其快速算法（ FFT） 五、模拟信号数字处理 六、数字滤波器 七、IIR数字滤波器（ IIRDF）设计 八、FIR数字滤波器（ FIRDF）设计 九、少量经
评论
收藏
内容反馈
立即下载
开通VIP（低至0.43/天）
买1年送1年
资源评论
资源反馈
评论星级较低，若资源使用遇到问题可联系上传者，3个工作日内问题未解决可申请退款~
联系上传者
评论
hugoli333
粉丝: 0
资源:
9
私信
上传资源 快速赚钱
我的内容管理
展开
我的资源
快来上传第一个资源
我的收益
登录查看自己的收益
我的积分
登录查看自己的积分
我的C币
登录后查看C币余额
我的收藏
我的下载
下载帮助
前往需求广场，查看用户热搜
最新资源
TC4056A 线性单节锂电池充电管理芯片详解
(源码)基于NDN网络的文件传输系统.zip
phpstorm亲测可用
mmmmmmmggggggggg
2024年高级信管基础知识模拟题及答案解析.pdf
chromedriver-win64-125.版本所有资源打包下载
(源码)基于SSM框架的教务查询系统.zip
TC5020EJ 16位恒流LED驱动IC 的产品概述与应用
(源码)基于ROS和Python的机器人跟随领导者系统.zip
(源码)基于SpringBoot和Vue的停车场管理系统.zip
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议，欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理！
点击此处反馈
安全验证
文档复制为VIP权益，开通VIP直接复制
信息提交成功
