发光传感是一种用于就地监测高活性金属上的多层表面保护涂层的健康和完整性的有吸引力的方法。 在这项工作中，我们证明了掺（（Er）的氮化铝（AlN）膜在Al / AlN多层涂层系统中用作发光传感层的潜力。 AlN：Er膜是通过射频磁控溅射从掺有不同浓度（0.5％至2.5at％的Er）的Al靶材制备的。 研究了沉积的AlN：Er薄膜的化学组成，表面形貌，晶体结构，化学态和光学性质。 我们发现AlN：Er薄膜的晶体结构，表面粗糙度和光学性能与Er掺杂水平有很强的相关性。 沉积的AlN：Er薄膜在可见频率范围内显示出三价Er离子的特征性光致发光发射线，并且当Er掺杂水平提高到2.5 at。％时观察到猝灭。 这项工作表明了AlN：Er膜作为发光传感层的可行性，并且在实际应用中，Al溅射靶材的最佳Er掺杂浓度为2.0 at。％。
