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光刻胶的分类与效果PPT课件.pptx
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1
.
图
相
转
移
技
术
(
光
刻
)
的
基
本
知
识
:
光
刻
工
艺
是
指
将
掩
膜
版
上
的
图
形
转
移
到
衬
底
表
面
光
刻
胶
上
的
技
术
-
-
-
-
-
-
-
-
要
求
高
精
度
尺
寸
转
移
,
确
定
光
刻
工
艺
条
件
,
必
须
以
图
形
尺
寸
变
化
量
的
大
小
为
重
要
依
椐
之
一
.
衍
射
是
影
响
图
形
尺
寸
变
化
的
重
要
原
因
。
第
1
页
/
共
20
页
•
光
源
:
汞
灯
:
e
线
—
—
5
4
6
n
m
h
线
—
—
4
0
6
n
m
g
线
—
—
4
3
6
n
m
i
线
—
—
3
6
5
n
m
U
V
—
—
2
4
8
n
m
E
B
—
—
埃
量
级
最
小
特
征
尺
寸
:
△
L
=
K
1
λ
/
N
A
λ
(
波
长
)
,
N
A
(
透
镜
的
数
值
孔
径
)
K
1
与
工
艺
参
数
有
关
(
一
般
取
0
.
7
5
)
*
要
注
意
光
刻
胶
所
要
求
的
光
源
波
长
;
短
波
长
适
用
于
小
尺
寸
.
第
2
页
/
共
20
页
•
N
A
(
数
值
孔
径
)
:
对
于
一
个
理
想
的
镜
头
系
统
,
图
像
的
质
量
仅
仅
受
到
由
于
N
A
的
大
小
有
限
而
造
成
衍
射
光
不
能
通
过
镜
头
。
透
镜
收
集
衍
射
光
并
把
这
些
衍
射
光
会
聚
到
一
点
成
像
的
能
力
用
数
值
孔
径
来
表
示
。
N
A
≈
(
n
)
透
镜
的
半
径
/
透
镜
的
焦
长
显然
, N
A
越大
,λ
越短,越可以得到更小的特征尺寸。
第
3
页
/
共
20
页
分辨率界限内的图象传递
入射到掩膜版
上的紫外线
掩膜版
版上图形
光学系统
理想传递
实际传递
晶片位置
(
任意单位
)
入
射
光
强
度
图形转移过程
第
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