ASML光刻机

Asml光刻机及工艺介绍 Asml光刻机及工艺介绍

评级：0 浏览量：1913 收藏量：12 资源大小：8.9MB 上传时间：2021-01-08

ASML Scanner 光刻机介绍 ASML.Scanner 光刻机介绍 ASML.Scanner 光刻机是半导体制造行业中的关键设备， Plays a crucial role in the semiconductor manufacturing industry。下面是该设备的知识点总结： 一、Course Introduction * ...

评级：5 浏览量：1723 收藏量：18 资源大小：10.84MB 上传时间：2022-01-26

ASML光刻机介绍 ASML光刻机介绍

评级：0 浏览量：1295 收藏量：11 资源大小：12.3MB 上传时间：2021-01-15

光刻机ASML内部培训资料 介绍芯片的制作流程以及光刻机的部分原理 在电子科技领域，光刻机是制造半导体芯片的关键设备，其中ASML（Advanced Semiconductor Materials Lithography）是全球领先的光刻机制造商。这份“光刻机ASML内部培训资料”为我们揭示了芯片制造的核心过程和光刻机...

评级：4 浏览量：4951 收藏量：50 资源大小：488.56MB 上传时间：2020-09-25

ASML 光刻机出口限制落地，整体好于预期，国产替代有望重新加速.pdf "ASML 光刻机出口限制落地，整体好于预期，国产替代有望重新加速.pdf" 在这个报告中，我们可以看到，ASML 光刻机出口限制的落地对国产半导体行业的影响。荷兰政府的出口管制并不涉及所有浸沒式光刻设备，只涉及“最...

评级：0 浏览量：20 收藏量：0 资源大小：354KB 上传时间：2024-01-03

ASML SECS Manual **ASML SECS接口**是指在ASML生产的光刻机等设备上实现SECS协议的具体方法和技术文档。通过该接口，可以实现设备与工厂自动化系统之间的高效沟通，包括设备状态监控、过程控制等功能。 #### 二、SECS接口在ASML设备...

评级：5 浏览量：1382 收藏量：13 资源大小：7.95MB 上传时间：2018-11-02

ASML lithography: 目前世界上最先进的光刻机 TWINSCAN:trade_mark: XT:1700iThe XT:1700i with HydroLith immersion technology delivers the world’s first 1.2 hyper NA for high-volume manufacturing at the 45-nm node. This innovative lithography ...

评级：0 浏览量：910 收藏量：4 资源大小：19KB 上传时间：2020-12-09

光刻机行业研究框架10.pdf 目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99%。在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义 。在02专项光刻机项目中，设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机， 其制程...

评级：0 浏览量：815 收藏量：4 资源大小：8.4MB 上传时间：2020-07-18

光刻机行业报告：ASML专题 2018年，ASML正式跨入百亿收入俱乐部。2019年ASML总营收为118.20亿...ASML的营业收入主要分为两个部分，第一部分 是系统收入，包括光刻机以及量测设备；第二部 分是软件和服务，主要包括计算光刻的软件以及 光刻机的维

评级：0 浏览量：299 收藏量：1 资源大小：2.09MB 上传时间：2021-03-25

光刻机行业报告：从0到1，星辰大海 目前全球光刻机市场呈现出明显的垄断格局，荷兰的ASML公司占据绝对主导地位，其他竞争对手如尼康（Nikon）、佳能（Canon）虽有一定市场份额，但远不及ASML。尤其是对于最先进的极紫外光刻（EUV）技术，ASML更是几乎...

评级：0 浏览量：40 收藏量：1 资源大小：5.32MB 上传时间：2024-06-08

光刻机使用方法，数据参数等等 ### 光刻机NSR1505I7A/1755I7A技术规格与使用方法 #### 设备基本信息 光刻机是一种在半导体制造过程中用于将设计图案转移到硅片上的关键设备。本篇文章主要围绕NSR1505I7A/1755I7A型号光刻机的技术规格、使用方法...

评级：5 浏览量：1102 收藏量：6 资源大小：578KB 上传时间：2019-02-17

光刻机企业ASML专题研究报告.docx "ASML 光刻机企业专题研究报告" 一、ASML 公司介绍 * ASML 是全球光刻机行业的龙头，市场份额领先，并垄断了 EUV 光刻机市场。 * 光刻机设备是所有半导体设备中复杂度最高、精度最高、单台价格最高的设备，现代...

评级：0 浏览量：148 收藏量：0 资源大小：4.73MB 上传时间：2021-10-24

光刻机及行业现状 #### 一、光刻机的发展历程与ASML的崛起 光刻机作为集成电路制造中的关键设备，其发展历程对于半导体行业的进步起着至关重要的作用。早期，光刻机市场由尼康、佳能和ASML三家公司主导，形成了三足鼎立的局面。然而...

评级：0 浏览量：380 收藏量：0 资源大小：153KB 上传时间：2018-05-16

ULTRATECH_STEPPER_1100步进光刻机操作指导书 ### ULTRATECH_STEPPER_1100步进光刻机操作指导书关键知识点解析 #### 一、卫生清洁程序 对于步进光刻机的日常维护来说，清洁是非常重要的步骤之一，以确保设备的正常运行以及提高生产效率。 - **每日清洁流程**：...

评级：0 浏览量：422 收藏量：2 资源大小：130KB 上传时间：2017-04-11

光刻机传输分系统控制.doc 文档详细阐述了荷兰ASML公司的TWINSCAN光刻机内部的硅片传输分系统的伺服控制系统设计。该文档旨在为读者提供对光刻机内部工作原理，尤其是伺服控制系统的深入理解，对于熟悉光刻机操作及控制系统设计的人员极具价值...

评级：0 浏览量：589 收藏量：5 资源大小：13.97MB 上传时间：2020-09-17

附件-光刻机知识汇总（结构原理、行业发展及阿斯麦ASML专利） 这篇知识汇总将深入探讨光刻机的结构原理、行业发展趋势以及阿斯麦（ASML）公司的专利技术。 一、光刻机的结构原理 光刻机的基本工作流程包括涂胶、曝光、显影和刻蚀四个步骤。首先，将光敏材料——光刻胶涂抹在...

评级：0 浏览量：126 收藏量：0 资源大小：54.79MB 上传时间：2024-04-14

科技冠军系列报告（二）：摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML.pdf 科技冠军系列报告（二）以ASML公司作为焦点，深入探讨了全球光刻机行业的发展状况、ASML的市场地位、产品线、公司历史、发展前景以及对行业的贡献。ASML作为全球光刻机行业的龙头企业，其产品的先进性、市场垄断力...

评级：5 浏览量：195 收藏量：0 资源大小：2.06MB 上传时间：2021-07-08

光刻机产业链发展概述.pdf 光刻机产业链包括国产光刻机产业链和ASML光刻机产业链两大部分。国产光刻机产业链主要由上海微电子、北京科益虹源、北京国望光学、国科精密、华卓精科等公司组成。ASML光刻机产业链则是全球最大的光刻机制造商，拥有...

评级：0 浏览量：73 收藏量：0 资源大小：1.85MB 上传时间：2021-10-13

半导体光刻机行业报告：复盘ASML发展历程 14nm 及以下先进制程应用广泛且不断进步，光刻、刻蚀、沉积设备成为投资重点。晶 体管线宽在 28nm 以内的称为先进制程，目前台积电、三星两家晶圆厂最先进工艺可将制程 推进到 5nm 级别，其中台积电为全球最大晶圆代...

评级：0 浏览量：111 收藏量：0 资源大小：4.39MB 上传时间：2021-03-19

半导体制造过程中用到的光刻机照明系统 光刻机是半导体制造的关键设备，其照明系统在光刻工艺中扮演着至关重要的角色。照明系统主要负责为投影物镜提供所需的光束角度分布和强度，以确保精确的图案转移。以下是关于光刻机照明系统的详细介绍： 1. **光刻...

评级：0 浏览量：183 收藏量：2 资源大小：3.36MB 上传时间：2023-11-03

国内光刻机设备现状.zip-综合文档 目前，国内光刻机设备主要依赖进口，尤其是高端的EUV光刻机，全球市场几乎被荷兰ASML公司垄断。我国虽然在DUV光刻机方面有一定研发成果，如上海微电子装备（SMEE）已能生产90nm和28nm制程的DUV光刻机，但在EUV的研发...

评级：0 浏览量：62 收藏量：0 资源大小：407KB 上传时间：2021-05-19

光刻机、刻蚀机、离子注入机解读PPT课件.ppt 【光刻机】 光刻机是集成电路制造中的核心设备，其主要...全球市场由少数几家顶尖公司主导，其中ASML在光刻机领域尤为突出，而中国的上海微电子装备有限公司等企业正在努力追赶国际先进技术，提升国内自主生产能力。

评级：5 浏览量：245 收藏量：0 资源大小：3.94MB 上传时间：2021-12-25

光刻机40年资本局：尼康起高楼，ASML宴宾客，美国楼塌了-综合文档 本文将围绕“光刻机40年资本局”这一主题，探讨尼康、ASML以及美国在全球光刻机市场的沉浮变迁。 自20世纪70年代以来，光刻机的发展历程可以说是科技进步与商业策略交织的缩影。尼康，日本的一家光学巨头，最初在...

评级：0 浏览量：81 收藏量：0 资源大小：234KB 上传时间：2021-05-22

全球光刻机绝对龙头ASML经营分析及发展之路.docx "全球光刻机绝对龙头ASML经营分析及发展之路" 一、ASML公司概况 ASML成立于1984年，由菲利普与先进半导体材料国际(ASMI)合资成立，专业从事光刻机设备的开发。1995年，ASML收购了菲利普持有的股份，称为完全独立的...

评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：216KB 上传时间：2021-11-12

半导体设备之ASML：EUV光刻机需求强劲，经营业绩再创历史新高.zip ASML（阿斯麦尔）是全球领先的半导体设备制造商，尤其以其先进的极紫外（EUV）光刻机技术闻名于世。这篇文档标题指出，ASML的EUV光刻机需求强劲，且公司的经营业绩已经达到了历史最高水平，这揭示了几个关键的IT知识...

评级：0 浏览量：91 收藏量：0 资源大小：629KB 上传时间：2021-10-22

半导体设备之ASML：EUV光刻机需求强劲，经营业绩再创历史新高.pdf ASML是全球领先的半导体设备制造商，尤其在EUV（极紫外光刻）光刻机领域拥有绝对的市场优势。EUV光刻技术是目前最尖端的微电子制造技术之一，主要用于生产7纳米及以下的先进制程芯片。光刻机是半导体制造过程中的...

评级：0 浏览量：110 收藏量：0 资源大小：753KB 上传时间：2021-07-08

108页光刻机行业研究框架-20200622-方正证券精品报告2020.pdf ASML光刻机产业链几乎覆盖了全球的高端制造技术，比如德国蔡司的光学镜头技术、美国的控制软件和光源技术、日本的特殊复合材料等。 ASML的浸没式光刻系统TWINSCANNXT:2000i是DUV（深紫外光刻机）的最新产品，被视为...

评级：0 浏览量：355 收藏量：3 资源大小：5.73MB 上传时间：2021-04-24

关于光刻机的话题 .pptx 我国在光刻机领域的研发尚处于追赶阶段，虽然在某些关键技术，如双工件台系统样机的研发上取得了进展，但与国际先进水平，尤其是荷兰ASML的EUV光刻机相比，仍有显著差距。当前我国能够研发的光刻机技术主要针对65-28...

评级：0 浏览量：49 收藏量：0 资源大小：22.23MB 上传时间：2023-09-07

科技冠军系列报告（二）：摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML.zip 报告“科技冠军系列报告（二）：摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML”聚焦于全球顶尖的半导体设备制造商ASML（Advanced Semiconductor Materials Lithography），该公司在光刻机技术领域占据主导地位，是推动集成电路...

评级：0 浏览量：76 收藏量：1 资源大小：1.82MB 上传时间：2021-10-22

投影光刻机硅片调焦调平测量模型 成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础。为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的测量模型,并根据硅片形貌标准和集成电路尺寸标准,推导了近似运算规则,简化了曝光场高度...

评级：0 浏览量：125 收藏量：0 资源大小：661KB 上传时间：2021-02-12

科技行业冠军报告：摘取光刻机皇冠上的明珠，ASML-20200717-平安证券-47页 报告标题：“科技行业冠军报告：摘取光刻机皇冠上的明珠，ASML-20200717-平安证券-47页” 报告描述：“科技行业冠军报告”聚焦了全球光刻机领域的领军企业ASML，揭示了公司在高科技产业中的核心地位，以及其在2020...

评级：0 浏览量：61 收藏量：0 资源大小：1.8MB 上传时间：2023-03-23

半导体设备之ASML：一季度新订单大幅增长，EUV光刻机需求强劲.zip 在2023年第一季度，ASML的订单量出现了显著增长，这表明全球半导体产业对EUV光刻机的需求正在强劲上升。这个话题涉及多个关键的IT知识领域，包括半导体制造、光刻技术、EUV技术以及全球半导体市场的动态。 首先，...

评级：0 浏览量：103 收藏量：1 资源大小：530KB 上传时间：2021-10-22

光刻机行业发展研究报告.pdf 全球视角下，ASML是光刻机领域的领导者，其TWINSCAN NXT:2000i DUV光刻机是先进工艺的关键，集合了全球各地的顶尖技术，如德国蔡司的镜头、美国的控制软件和光源等。ASML的成功得益于与上游供应商的紧密合作，以及...

评级：0 浏览量：89 收藏量：0 资源大小：4.93MB 上传时间：2021-10-13

Intel放弃157nm光刻技术 主要问题是157纳米光刻机所需的镜头材料——氟化钙，它的价格昂贵且供应商稀缺，这使得157nm技术的商业化变得极其困难。 相反，英特尔选择了扩展193纳米光刻机的使用，这种技术已经应用于90纳米、65纳米和45纳米...

评级：0 浏览量：262 收藏量：0 资源大小：52KB 上传时间：2020-12-09

半导体设备行业点评：从ASML、Nikon、Canon年报看光刻机行业：EUV已占4成，逻辑客户主导光刻机需求长期高... 本文将深入探讨光刻机领域的最新发展，尤其是从ASML（阿斯麦）、Nikon（尼康）和Canon（佳能）这三家全球主要光刻机供应商的年报中提取的信息。标题和描述指出，EUV（极紫外光刻）技术在光刻机中的应用已经占据了...

评级：0 浏览量：77 收藏量：0 资源大小：845KB 上传时间：2021-10-20

光刻机产业链发展概述.pptx ASML是全球光刻机市场的领导者，其产品如TWINSCAN NXT:2000i是目前最先进的DUV光刻系统，为EUV光刻机的过渡和7nm/5nm工艺的实施提供关键支持。ASML的成功得益于与上游供应商如蔡司、Cymer的合作，以及下游客户如...

评级：0 浏览量：114 收藏量：0 资源大小：3.14MB 上传时间：2021-10-13

步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展 - **应用案例**：ASML光刻机采用此方案。 - **实现方式**：利用洛仑兹电机进行精密微调并实现磁隔离减振。 - **性能表现**：硅片台速度可达250mm/s，掩模台速度可达1000mm/s，加速度达到10g。 #### 分系统构成 ...

评级：0 浏览量：197 收藏量：0 资源大小：628KB 上传时间：2021-03-05

光刻机行业深度研究报告.pdf 光刻机行业深度研究报告主要探讨了光刻技术在半导体制造中的重要性，以及全球光刻机市场的主要参与者，特别是ASML公司和中国的上海微电子。以下是报告中的关键知识点： 一、光刻技术在芯片制造中的核心地位 1. 光刻...

评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：733KB 上传时间：2021-10-22

全球光刻机产业发展概述.pdf ASML、尼康和佳能三大厂商几乎垄断了全球前道光刻机市场，其中ASML的市场份额超过60%，处于绝对领先地位。尼康尽管市场份额有所下滑，但依靠深厚的技术底蕴仍能维持二线供应商的地位。佳能则位居第三，而中国的上海...

评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：1.97MB 上传时间：2021-10-13

国产光刻机行业发展报告.pptx 全球市场上，ASML、尼康和佳能三巨头几乎垄断了前道光刻机市场，但国产光刻机的国产替代进程正在加速，有望打破这一局面。 在国家02专项的支持下，中国致力于光刻机核心技术的突破，包括28纳米ArF浸没式DUV光刻机的...

评级：5 浏览量：103 收藏量：1 资源大小：2.34MB 上传时间：2021-09-26

国产光刻机行业发展报告.pdf 全球市场目前由ASML、尼康和佳能三大巨头垄断，CR3达到99%，而国产光刻机的替代战略具有重大战略意义。 在02专项中，中国设定了2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机的目标，旨在达到28纳米制程工艺。这标志着...

评级：5 浏览量：118 收藏量：1 资源大小：2.04MB 上传时间：2021-10-13

光刻机的工作原理及关键技术1 光刻机是集成电路制造的关键设备，...当前，荷兰ASML公司在EUV光刻机领域占据主导地位，其产品被全球多家顶尖半导体制造商采用。随着技术的持续进步，我们可以期待未来光刻机将带来更为精细和高效的集成电路制造能力。

评级：0 浏览量：197 收藏量：0 资源大小：1.45MB 上传时间：2022-08-08

半导体行业研究：EUV光刻机成ASML营收新动力，首例国产DRAM芯片试产.zip 标题和描述中提及的两个关键点，一是EUV光刻机在ASML公司营收中的重要角色，二是我国首次试产的国产DRAM芯片，这两个话题都是当前半导体领域的热点。 EUV（极紫外光刻）光刻机是半导体制造的关键设备，它在芯片制造...

评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：1021KB 上传时间：2021-10-23

20210719-国盛证券-电子：半导体设备系列：光刻机，半导体制造皇冠上的明珠.pdf 全球光刻机市场由ASML、尼康（Nikon）、佳能（Canon）等几大厂商主导。特别是ASML，其市场占有率高达84%，在EUV技术领域具有绝对的垄断地位。 ASML公司以其高度的研发投入和较高的利润率，在行业内部构筑了难以逾越...

评级：5 浏览量：218 收藏量：0 资源大小：1.38MB 上传时间：2021-07-19

20200622-方正证券-半导体行业专题报告：光刻机行业研究框架.pdf ASML是全球光刻机市场的领军企业，其产品线涵盖了从DUV到EUV（极紫外光刻机）的广泛光刻技术，其中包括最为先进的TWINSCANNXT:2000iDUV光刻系统。ASML的成功依赖于其与全球顶尖技术供应商的合作，以及下游晶圆代工厂...

评级：0 浏览量：82 收藏量：0 资源大小：8.44MB 上传时间：2021-04-08

光刻气体：光刻机制造关键环节，产业格局解析.docx 华特气体 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/N 四种光刻混合气通过 ASML 的产品认证，是我国唯一通过 ASML 认证的企业，亦是全球仅有的上述四个产品全部通过其认证的四家气体公司之一，ASML 会在光刻机使用说明中明确...

评级：0 浏览量：46 收藏量：0 资源大小：3.68MB 上传时间：2023-09-30

电子：半导体设备系列：光刻机，半导体制造皇冠上的明珠（2021）（16页）.pdf 光刻机单价高，年出货量约300-400台，其中EUV光刻机因其技术先进性和高昂的价格，供应量相对有限，只有ASML具备EUV光刻机的生产能力，年出货量在30-50台左右，单价超过1亿美元。 ASML是全球光刻机市场的领导者，...

评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：1.38MB 上传时间：2022-02-18

ASML_Reticle_manual_Final_2007 文档中提到了卡尔蔡司（Carl Zeiss）的商标，ASML光刻机的光学部件大多来自于卡尔蔡司的合作。卡尔蔡司是光学系统和精密仪器的全球领先制造商，与ASML在高端光刻设备领域有着深入的合作。 ### 8. 常见的光刻机术语 ...

评级：0 浏览量：1088 收藏量：17 资源大小：4.8MB 上传时间：2015-05-24