光刻机企业ASML专题研究报告.docx

"ASML 光刻机企业专题研究报告" 一、ASML 公司介绍 * ASML 是全球光刻机行业的龙头，市场份额领先，并垄断了 EUV 光刻机市场。 * 光刻机设备是所有半导体设备中复杂度最高、精度最高、单台价格最高的设备，现代工业的集大成者。 * ASML 的产品包括光刻机、量测设备以及计算光刻解决方案。 二、光刻机行业概况 * 光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力，已经发展到第五代——EUV 光刻机，用于制造 5nm 芯片。 * 光刻机的主要构成模块包括测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模、掩模台、物镜和封闭框架与减震器等 11 个模块。 * 光刻机经历了 5 代产品发展，光源波长从 436nm 缩小到 13.5nm;目前主流的曝光方式是步进扫描式。 三、ASML 发展历史 * ASML 从单一光刻逐步走向整体光刻，产品逐渐丰富。 * 公司的整体光刻方案旨在提升光刻精度，凭借量测设备和计算光刻系统的辅助，公司能够最大程度的提高光刻工艺性能。 四、ASML 市场前景 * 半导体设备支撑了 10 倍大的芯片制造产业，年产值几百亿美元的半导体设备支撑了年产值几千亿美元的半导体制造产业。 * 物联网、5G 等技术推动市场需求增加，ASML 作为全球光刻机行业龙头，将继续保持其市场领导地位。 五、技术创新 * 技术创新是推动 ASML 增长的最重要的因素，ASML 的技术创新理念是合作开放，通过全球产业链分工合作，采取模块化外包协同联合开发策略，构建了以 ASML 为核心的产业链联合体。 * ASML 光刻机采用模块化的设计、制造、集成和调试，各模块分系统与单元组件在 ASML 产业链联盟伙伴和关键供应商内部完成，之后交由 ASML 组装，然后再分解成若干单元，将其包装并空运到用户的 Fab 厂房，再次进行整机安装调试。 ASML 是全球光刻机行业的龙头，市场份额领先，并垄断了 EUV 光刻机市场。公司产品逐渐丰富，技术创新是推动 ASML 增长的最重要的因素。ASML 将继续保持其市场领导地位，并继续推动半导体设备行业的发展。