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为了研究氢气载气对化学气相沉积微环境的影响,自行设计了化学气相沉积炉并在900℃,丙烯/载气体积比为1:10(载气分别设定为氢气和氮气),微正压条件下在石墨纸基体上进行化学气相沉积。利用气相色谱仪、气质联用仪分析了沉积区域的沉积基元中间产物,利用扫描电镜、拉曼光谱分析了热解炭的微观结构。结果表明,与氮气载气相比,氢气载气抑制了热解炭的沉积,降低了热解炭的织构,这主要是由于氢气改变了沉积区域中小分子烃/大分子芳香烃比造成的。
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weixin_38717169
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