使用三异丙醇铝和氧气混合物的高温化学气相沉积氧化铝

使用三异丙醇铝和氧气混合物的高温化学气相沉积氧化铝使用三异丙醇铝和氧气混合物的高温化学气相沉积氧化铝 S. Blittersdorf, N. Bahlawane, B. Atakan, K. Kohse-Höinghaus* Institut für Physikalische Chemie I，比勒费尔德大学； Universitätsstraße 25, D-33615 Bielefeld 氧化铝； 三异丙醇铝 不锈钢是氧化和腐蚀环境中高温应用最常见的工业材料之一。 在这种工作条件下，保护性氧化物涂层对于可靠的服务至关重要。 在这种情况下，氧化铝涂层是一种公认​​的保护材料。 它作为保护层的有效性取决于它的密度、它在金属上的附着力和它的抗开裂能力。 氧化铝的化学气相沉积传统上是使用 AlCl3/H2/CO2 混合物实现的，这种混合物产生的结晶氧化铝通常具有大晶粒和高Kong隙密度。 这种气体混合物的缺点是在涂层过程中在不锈钢表面产生 HCl，这是一种化学物质，会导致界面降解，影响薄膜的粘附性能。 在氧源存在下的烷氧基化物可替代地用于氧化铝涂层的沉积。 低温下得到的薄膜呈现出导致光滑