放电电流对热阴极等离子体化学气相沉积金刚石膜影响 (2007年)

建立了快速沉积高品质金刚石膜的热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积新方法。相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一点是具有较高的放电电流（6.0～10.0A）。较高的放电电流既是热阴极辉光放电本身的突出特点，同时对于化学气相沉积金刚石膜工艺也产生重要影响。实验研究了放电电流于金刚石膜沉积速率、表面形貌和热导率的影响，发现由于放电电流影响辉光放电的等离子体区和阳极区，进而对金刚石膜的沉积速率和品质有很大影响。特别是通过放电电流的提高，可以有效地提高金刚石膜的