热丝化学气相沉积(HWCVD)中热丝直径对非晶硅薄膜沉积的影响

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热丝化学气相沉积(HWCVD)中热丝直径对非晶硅薄膜沉积的影响,孟翔宇,刘艳红,利用热丝化学气相沉积法,采用0.2mm与0.3mm两种直径的钨丝,通过对氢气稀释的乙硼烷与硅烷的分解,在玻璃衬底上沉积硼掺杂氢化非晶�

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2019-12-29
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