采用磁控溅射方法制备了Cr-Si-Ni电阻薄膜，研究了薄膜在模拟酸性（0.1mol/L HCl）和碱性（0.1mol/L NaOH）溶液环境中的电学稳定性和长期使用可靠性。结果表明：在室温（25℃）时，500℃热处理后的纳米晶结构薄膜在酸性溶液环境中比在碱性溶液环境中具有更优异的电学稳定性和长期使用可靠性。在酸碱两种溶液中浸泡240h后，薄膜试样的相对电阻变化（△R/R）分别为0.96%和3.31%。电化学实验和AES表面成分分析表明，在酸碱两种溶液中薄膜表面都能够形成致密稳定的SiO2保护层，而且酸性环
