CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备和应用 (2007年)

轴承支撑器是轴承精密加工中的关键部件。本文采用热丝化学气相沉积（简称CVD）法，以丙酮和氢气为碳源，在WC-Co硬质合金轴承支撑器衬底上沉积金刚石薄膜，制备CVD金刚石薄膜涂层轴承支撑器，并应用于轴承的精密磨削加工。结果表明，合理控制衬底材料的预处理和CVD沉积工艺对金刚石薄膜质量、形貌、粗糙度和薄膜与衬底间的附着力有显著影响。与传统硬质合金轴承支撑器相比，CVD金刚石涂层轴承支撑器的耐用度和使用性能显著提高。