热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究

本文报道热丝化学气相沉积法(HFCVD)生长金刚石薄膜的喇曼散射结果.选取多种峰型,对金刚石薄膜喇曼谱(1100～1800 cm-1)采用最小二乘法进行非线性拟合,得到最佳拟合模型,其计算得到的拟合曲线与实验谱图符合得较好.该模型揭示,石墨D峰(1355 cm-1)是金刚石薄膜喇曼谱中不可缺少的一个组份,并且结合石墨D峰和金刚石喇曼峰的空间相关线型,可以解释金刚石喇曼区特殊峰形的物理机制.拟合参量的进一步分析,可得出金刚石的晶体质量和金刚石薄膜中金刚石的含量.多个金刚石薄膜喇曼谱拟合结果表明,该拟合模型具有一定可供参考的应用价值.