富勒烯作为过渡层生长金刚石薄膜研究

采用微波等离子体化学汽相淀积法，以C60膜为过渡层，在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上，首次在无衬底负偏压条件下生长出多晶金刚石薄膜，通过扫描电镜观察到生长膜晶粒呈莱花状，生长表面为金刚石(100)晶面。