基于MEMS的隔膜传感器系统和使用方法

今天为大家介绍一项国家发明授权——基于MEMS的隔膜系统和使用方法。该由通用电气公司申请，并于2017年6月27日获得授权公告。 　　内容说明 　　本发明涉及基于MEMS(微机电系统)的隔膜元件感测和监测，更具体来说涉及基于MEMS传感器、系统以及监测反渗透(RO)和纳米过滤(NF)隔膜元件的方法。 　　发明背景 　　反渗透(RO)或纳米过滤(NF)隔膜元件的阻塞或机械故障能够导致基于隔膜的净水设备的相当大的停工期。存在用来识别隔膜元件机械故障或者隔膜元件阻塞量的若干脱机光学和声学装置及方法。但是，这些装置和方法不能提供脱机监测，并且是费用高和费时的。相应地，需要一种隔膜元件机a械故障