传感技术中的新型MEMS气流传感器

微电机系统(MEMS)使探测器中的传感元件尺寸缩小，从而降低了成本、提高了精度并提供可媲美半导体的集成度。不幸的是，传感器所要探测的世界并不因其尺寸缩小而缩小，较小的MEMS器件更容易被灰尘和其它微粒阻塞。现在，欧姆龙电子部品(Omron Electronic Components LLC)声称已为MEMS气流传感器解决了这个问题，为此采用了该公司称之为“企鹅”的创新性机械结构。 　　“我们最新推出的D6F气流传感器代号为企鹅，永远不需要过滤器。当过滤器被堵塞的时候，会干扰流量读数，”欧姆龙电子部品的总经理Yoshio Sekiguchi表示，“我们利用旋转气流产生离心力，解决了这个问题。