传感技术中的mems压力传感器


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硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计,是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势:成本低,应力小,性能高,可以大规模生产。压力传感器分为两种,一种是基于压阻的变化,一种是基于电容的改变。压阻式压力传感器是在密封腔上面悬空的硅层上制备压敏电阻,随着压力的变化,硅膜的应力变化,相应的压阻发生变化,键合压阻式压力传感器如图1.19所示。主要的工艺工艺步骤为:(1)衬底硅片进行腐蚀,腐蚀出要求的密封腔;(2)把衬底和另外一个硅片键合,并经过1000~1200℃的高温退火,使键合界面达到一体化;(3)把键合好的硅片进行减薄和抛光达到要求的厚度(5~25µm或
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2020-12-09
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传感技术中的敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片
2020-11-09继推出硅基MEMS麦克风芯片后,苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片,主要针对量程为15PSI的高度表市场,并已开始提供样品。
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传感技术中的MEMS传感器四大应用领域详解
2020-10-15MEMS传感器作为获取信息的关键器件,对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。 MEMS传感器典
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传感技术中的分析MEMS压力传感器的原理设计与应用
2020-10-22MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,它是在融合多种微细加工技术,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 MEMS技术的发展开辟了一个全
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医疗应用新突破 MEMS压力传感器创新设计
2020-08-26日前,一支来自新加坡一家微电子研究所ASTAR的团队制作出一种小型的传感器,这种传感器将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起,从而使得MEMS压力传感器可以更稳定耐用,适用于医疗器械。
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传感技术中的基于模型识别技术的高温微型压力传感器
2020-10-21摘 要: 高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式
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传感技术中的MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器
2020-10-21摘要:文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感
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传感技术中的基于高温的微型压力传感器设计方案
2020-10-200 引言 压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器
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传感技术中的硅压力传感器的可靠性强化试验
2020-10-21目前MEMS (M icroelectromechanical System )技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压阻式压力传感器已经广泛应用于航空、石油化工、动力机械
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传感技术中的基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方案
2020-10-16定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中,如果位置信息可用并非常可靠,有更多的应用场景可以实现的。行人航位推算(PDR) 就是这样一种技术,在室内环境中可提供行人航位信息并提高定位可靠性。惯性传感器
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传感技术中的高灵敏压力传感器过载保护结构设计
2020-10-21摘要:采用微机电系统( MEMS) 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了
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传感技术中的中国制造商征战新型传感器市场
2020-12-08MEMS传感器热点应用转向消费电子 “以往的MEMS传感器价格昂贵,一般用于军工、工控、仪器仪表等应用。通过多年的发展,其尺寸不断缩小,技术不断成熟,成本一再降低。目前MEMS传感器的热点应用
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图文详解MEMS压力传感器原理与应用
2020-10-19MEMS(微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
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传感技术中的基于惠斯顿电桥的压力传感器的解决方案
2020-11-05所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展,而且与之前的产品相比,更加精确也更稳定。有的时候,这些传感器使用起来并不简单。面向这些传感器的调节电路设计师,经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而,
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基于模型识别技术的高温微型压力传感器
2021-01-19摘 要: 高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式
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传感技术中的基于MEMS传感嚣的TPMS系统开发与实现(二)
2020-10-204胎压传感模块系统设计 由于压阻式MEMS气压传感器的输出信号为数十毫伏量级,而且需要对温漂、初始测量精度等做相应校正,因此一个完善且实用的胎压传感模块系统如下图7所示,需要与之配套的专用芯片,将
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传感技术中的MTBSolutions与和MemsTech携手制造MEMS传感器
2020-11-30MTBSolutions公司日前宣布,该公司将与马来西亚传感器制造商Mems Technology Berhad合作,向北美客户提供基于MEMS产品的制造服务。 MTBSolutions公司将
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传感技术中的Apogee推出新型全硅压力传感器
2020-11-30Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”压力传感器。与现有产品相比,该公司的第一款MEMS产品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相当的优势。此外,Apogee公司还计划
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传感技术中的传感器信号调节解决方案
2020-11-07面向传感器的调节电路设计师,经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而,只需少量基础知识并使用新的在线传感器设计工具,这个过程面临的很多挑战都能够迎刃而解。 虽然现在市面上有多种传感器,但压力传
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传感技术中的基于CAV424的电容式压力传感器测量电路设计
2020-10-21摘要: 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中, 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元, 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好, 抗干扰性
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MEMS传感器四大应用领域详解
2021-01-19MEMS传感器作为获取信息的关键器件,对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。 MEMS传感器典
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传感技术中的基于系统级封装技术的车用压力传感器
2020-11-111、引言 经过几十年的研究与开发,MEMS器件与系统的设计制造工艺逐步成熟,但产业化、市场化的MEMS器件的种类并不多,还有许多MEMS仍未能大量走出实验室,充分发挥其在军事与民品中的潜在应用,还
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传感技术中的轻松应对传感器信号调节所面临的挑战
2020-11-07所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展,而且与之前的产品相比,更加精确也更稳定。有的时候,这些传感器使用起来并不简单。面向这些传感器的调节电路设计师,经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而,
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传感技术中的微机械传感器
2020-11-181引言 微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems,MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域
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传感技术中的MSI推出新产品MSP610—— 一款高精度不锈钢压力传感器
2020-11-30美国MSI精量电子(美国纳斯达克上市名称:MSS)设计、开发、生产和销售电子传感器和传感基础上的消费产品。旗下的知名品牌有Schaevitz(工业及军用测量位移,倾角,角位移等)、ICsensors(
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嵌入式系统/ARM技术中的数字压力传感器硬盘驱动存储容量增加
2020-10-21基于微机电系统(MEMS)技术的MPL115A 数字传感器,帮助简化系统设计,实现笔记本电脑和PC中使用的硬盘驱动(HDD)的存储器存储密度的增加;在紧凑的封装中提供高精度气压和测高功能,适用于各种成
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一种高精细度MEMS光纤F-P压力传感器
2021-02-03提出并通过实验研究了一种高精细度微机电系统(MEMS)光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器基于MEMS技术,将硅片与Pyrex#7740玻璃片阳极键合并镀上高反介质膜构成一个高精细度的F-P
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传感技术中的电磁激励微谐振式传感器的设计与制作
2020-11-090 引 言 谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力,使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化,通过测量谐振器频率的变化来检测压力。与通常的诸如压阻式和电容式压力传感器相比,谐振式
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传感技术中的基于MEMS传感嚣的TPMS系统开发与实现(一)
2020-10-20摘要:本文介绍了基于MEMS传感器的TPMS系统解决方案。文中首先讨论了压阻式MEMS气压传感器和指标参数,随后从底层芯片设计和整体系统应用方案开发不同层次,描述了该系统各个组成部分的软硬件设计和物理
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用于智能汽车的高性能MEMS传感器
2021-01-13微机电系统(MEMS)技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今,这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置,并带来系统在降低成本、持续可
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传感技术中的昆山双桥推出CYG202型小差压传感器
2020-12-01昆山双桥传感器测控技术有限公司是一家以当前最先进的微纳米技术的MEMS技术发展和压阻力敏传感器产品开发与生产为企业发展战略,以兼营相关类型的各种传感器与数字化智能仪表及其系统为核心业务的高新技术企业。
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