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用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2:Pt薄膜和表面层掺杂SnO2,SnO2:Pt双层膜,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导。研究了两种薄膜对CO响应的次方因子,测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响。实验结果表明,由室温至200℃,这两种薄膜对CO气体都显示了较高的灵敏度和选择性,两种薄膜电导对CO的响应服从次方定律关系,薄膜工作温度及厚度对次方因子均有影响,次方因子在0.5~0.8之间,次方因子在膜厚60~70砌附近存在极大值。对两种薄膜测量结果的比较说明,这两种薄膜的气敏响应主要发生在薄
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