新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能 (2010年)

采用射频反应磁控溅射锡( Sn)靶和钨( W)靶的方法制备了SnO2 /WO3/MWCNT 复合薄膜材料和相应的气敏传感器,通过FSEM、X RD和XPS等方法分析了复合薄膜材料 的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成,测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和 响应恢复等气体敏感性能。实验结果表明:该复合薄膜气敏传感器具有较好的气敏性能,对NO2有较好的灵敏度,对其他干扰气体不敏感; SnO2 /WO3/MWCNT薄膜中,W、S n、C 主要以W+6、S n +4和C的形式存在。文中还对气敏响应机理进行了初