MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器* (2014年)

针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1／f噪声，提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz，实现对磁场的DC／AC转化，从而减小了磁阻元件的1／f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品，并进行了实验测试，结果表明：磁传感器样品的调制效率达到了19．3％，超过了已有的其他各种调制方案，同时低频磁场的探测能力达到120pTZ/√Hz，相比巨磁阻元件AA002提高了40多倍。