低压驱动RF MEMS开关设计与模拟--用于MEMS开关缺陷的改进

本文主要从结构上进行了创新，通过计算机辅助设计仿真分析得到了理论解，一定程度上满足了设计初衷，但在工艺上还不成熟。更低的驱动电压和更高的开关频率仍是亟待解决的问题，另外如何保证实际产品的可靠性、实用性也是未来的研究重点。